高分辨率臺式掃描電鏡具備樣品表面微觀形貌觀測和表面元素成分點、線、面分，將電鏡和能譜在生產(chǎn)環(huán)節(jié)集成在一臺設(shè)備中，后期通過一個軟件平臺控制操作，用戶只需要熟悉一個 軟件就能同時操控兩項功能，技術(shù)支持也變得相對簡單快速。

    高分辨率臺式掃描電鏡是飛納電鏡系列中先進的產(chǎn)品，第五代 Phenom Pro 放大倍數(shù)提升為 150,000 倍，分辨率優(yōu)于 8 nm，30秒快速得到表面細節(jié)豐富的高質(zhì)量圖像，是目前世界上分辨 率高的臺式掃描電鏡，可用于測量亞微米或納米尺度的樣品；高分辨率臺式掃描電鏡繼承了飛納電鏡系列高分辨率、15秒快速抽真空、不噴金觀看絕緣體、全自動操作、2-3年更換燈絲及 防震設(shè)計等優(yōu)點。

    除此之外，還有各種各樣的樣品杯可供選擇，這些樣品杯使得樣品的裝載更加便利。無論是對于長軸狀樣品，還是生物材料，或者其它種類的材料，總有一款合適的樣品杯可以提供的 解決方案。高分辨率臺式掃描電鏡打破了傳統(tǒng)臺式掃描電鏡采用BSD探測器成像的局限性，利用創(chuàng)新的 雙聚光鏡成像技術(shù)，采用大型掃描電鏡成像原理，使用二次電子探測器作為基礎(chǔ)成像單 元，從而可以獲得更高的分辨率，是真正意義上的高分辨率臺式掃描電鏡。

   高分辨率臺式掃描電鏡打破了傳統(tǒng)臺式掃描電鏡采用BSD探測器成像的局限性，利用創(chuàng)新的雙聚光鏡成像技術(shù)，采用大型掃描電鏡成像原理，使用二次電子探測器作為基礎(chǔ)成像單元，從而 可以獲得更高的分辨率（<8nm），是真正意義上的高分辨率臺式掃描電鏡。

   高分辨率臺式掃描電鏡高分辨、自動化、經(jīng)濟的高性能，具備與大型掃描電鏡同等的分辨率，為升級版本。該設(shè)備實現(xiàn)了大電鏡的小型化處理，放大倍率高達10萬倍；裝載易于使用的可變 光闌，可達到5nm圖像分辨率，是臺式電鏡中分辨率高的設(shè)備；使用多種探測器，可得到表面形貌信息成像與材料信息成像結(jié)果，適用于質(zhì)量管理、研發(fā)、教育等目的。高分辨率臺式掃描電鏡能同時運用鼠標控制與快捷鍵移動樣品進行分析；機動載臺的“點擊和移動”特性可使圖像獲取更為便捷；能在雙視圖模式下同時對SE/BSE圖像進行查看與存檔。