臺式掃描電鏡由三大部分組成：真空系統(tǒng)，電子束系統(tǒng)以及成像系統(tǒng)，以下提到掃描電子顯微鏡之處，是一種大型精密儀器，它是機(jī)械學(xué)、光學(xué)、電子學(xué)、熱學(xué)、材料學(xué)、真空技術(shù)等多門學(xué)科的綜合應(yīng)用。

   真空系統(tǒng)主要包括真空泵和真空柱兩部分。真空柱是一個密封的柱形容器。真空泵用來在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空，有機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵以及渦輪分子泵三大類，機(jī)械泵加油擴(kuò)散泵的組合可以滿足配置SEM的真空要求，則需要機(jī)械泵加渦輪分子泵的組合，成像系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內(nèi)置在真空柱中，底端即為密封室，用于放置樣品。

   之所以要用真空，主要基于以下兩點(diǎn)原因：電子束系統(tǒng)中的燈絲在普通大氣中會迅速氧化而失效，所以除了在使用SEM時需要用真空以外，平時還需要以純氮?dú)饣蚨栊詺怏w充滿整個真空柱。為了增大電子的平均自由程，從而使得用于成像的電子更多。臺式掃描電鏡分辨率優(yōu)于8nm，30秒快速得到表面細(xì)節(jié)豐富的高質(zhì)量圖像，是目前世界上分辨率高的掃描電鏡，可用于測量亞微米或納米尺度的樣品。

   飛納高分辨率繼承了飛納電鏡系列高分辨率、15 秒快速抽真空、不噴金觀看絕緣體、全自動操作、2-3年更換燈絲及防震設(shè)計等優(yōu)點(diǎn)。軟件可以自動采集數(shù)據(jù)、處理圖片。比如，纖維統(tǒng)計測量系統(tǒng)可以自動識別、測量纖維樣品，而大視野拼圖 則自動采集生成高分辨、大視野的樣品全景照片。